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度亘核芯光电技能(姑苏)请求半导体激光器专利能确保半导体激光器器材的可靠性

阅读量: 217次 发布时间:2024-09-19 08:11:53

  金融界 2024 年 9 月 18 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,度亘核芯光电技能(姑苏)有限公司请求一项名为“一种半导体激光器制备办法及半导体激光器“,公开号 CN4.5,请求日期为 2024 年 8 月 。

  专利摘要显现,本请求供给一种半导体激光器制备办法及半导体激光器,其间办法有:在待工艺晶圆上制备对位符号,并根据对位符号制备脊波导;在完结脊波导制备的外延资料外表堆积绝缘介质膜后制备电极窗口;经过浅腐蚀工艺对完结电极窗口制备的晶圆进行预设深度的浅腐蚀,并经过刻蚀润饰工艺对完结浅腐蚀的晶圆进行预设时长的刻蚀润饰以得到方针晶圆;对方针晶圆进行金属蒸镀和金属电镀得到 P 面电极,对制备有 P 面电极的方针晶圆的衬底反面进行减薄和金属蒸镀构成 N 面电极,能经过浅腐蚀确保外表良率及测验良率,消除电极窗口刻蚀带来的损害问题,经过刻蚀润饰消除浅腐蚀带来的蒸镀空泛问题,确保半导体激光器器材的可靠性。

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